Bersaglio di sputtering di rutenio (Ru)

Il target di sputtering al rutenio è un target grigio composto da rutenio ad alta purezza. Il rutenio è un elemento chimico con simbolo Ru e numero atomico 44. È un raro metallo di transizione appartenente al gruppo del platino della tavola periodica. Come gli altri metalli del gruppo del platino, il rutenio è inerte alla maggior parte delle altre sostanze chimiche. Il rutenio si trova solitamente come componente minore dei minerali di platino; la maggior parte dei prodotti al rutenio viene utilizzata nei contatti elettrici resistenti all'usura e nei resistori a film spesso.

I target di sputtering al rutenio vengono utilizzati per depositare un film sottile di Ru, che è un importante film intermedio nella struttura dei film multistrato di registrazione magnetica perpendicolare. Nel mezzo di registrazione magnetica, svolge principalmente un ruolo nella riduzione dello stress di disadattamento del reticolo tra gli strati superiore e inferiore, aumentando la stabilità termica e riducendo il rumore.

Come film funzionali, i film sottili di rutenio e lega di rutenio sono ampiamente utilizzati nei settori della registrazione magnetica e dei semiconduttori.

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