Le leghe di nichel-cromo-alluminio sono una classe di materiali target funzionali che possiedono stabilità alle alte-temperature, resistenza all'ossidazione ed eccellenti prestazioni di sputtering. Sono ampiamente utilizzati nella preparazione di rivestimenti protettivi-alle alte temperature, rivestimenti resistenti all'usura-, pellicole sottili di semiconduttori ed elettrodi di sensori. I requisiti principali per la loro preparazione includono uniformità compositiva, alta densità (maggiore o uguale al 98% della densità teorica), microstruttura a grana fine- e basso contenuto di impurità (O, C, N, ecc. Inferiore o uguale a 500 ppm) per garantire una composizione stabile della pellicola e un tasso di deposizione uniforme durante il processo di sputtering.
Metodo di preparazione dei target per sputtering in leghe di nichel-cromo-alluminio
Pre-pressatura: la polvere mista viene caricata in uno stampo di grafite e formata in una preforma in un forno di pressatura a caldo.
Pressatura a caldo e sinterizzazione in tre-fasi:
Prima fase: Completamento del degasaggio e sinterizzazione iniziale;
Seconda fase: Promozione della lega;
Terza fase: raggiungimento della completa densificazione (densità relativa > 99%) e affinamento del grano, formando un lingotto vicino alla densità teorica.
Casi d'uso per bersagli sputtering in leghe di nichel-cromo-alluminio
Industria aerospaziale: la resistenza alla corrosione termica dei componenti è migliorata e la durata utile è aumentata se incollati come rivestimento di barriera termica nei motori degli aerei e rivestimenti protettivi su pale di turbine e altri componenti del motore.
Industria delle apparecchiature energetiche: rivestimenti protettivi su pale di turbine a gas e altri componenti di apparecchiature di protezione nucleare. Anche le caldaie termiche nelle centrali nucleari hanno rivestimenti protettivi. Garantisce il funzionamento stabile delle apparecchiature in ambienti-a temperatura elevata.
Industria elettronica: può essere utilizzato per preparare film sottili resistivi, strati protettivi per componenti elettronici, ecc., sfruttando l'elevata resistività e le proprietà fisiche e chimiche stabili per soddisfare i requisiti prestazionali dei componenti elettronici.
Produzione di apparecchiature industriali: può essere utilizzato come rivestimento protettivo per rulli di forni per trattamento termico, rivestimenti-resistenti al calore per reattori chimici, rinforzo superficiale di stampi per vetro, ecc., migliorando la resistenza all'usura e alla corrosione delle apparecchiature industriali.
Campo decorativo: utilizzato per il trattamento superficiale di gioielli, orologi, telefoni cellulari e altri prodotti, formando un bellissimo rivestimento decorativo e fornendo allo stesso tempo protezione.
