Parti di ricambio per impianto ionico di tungsteno

Forniamo componenti in molibdeno e tungsteno di alta qualità, lavorati con precisione, per le apparecchiature di lavorazione utilizzate nella produzione di semiconduttori, tra cui impianto ionico, MOCVD, CVD, PVD.

I nostri prodotti principali, tra cui catodo, camera ad arco, repellente, piastra laterale/terminale e dispositivo di fissaggio nella sorgente di ioni di Axcelis e nell'impianto Varian, sono stati utilizzati nella produzione di wafer da 12" e 16".

Il materiale di tungsteno per l'impianto di ioni è utilizzato principalmente per preparare parti della sorgente di ioni dell'impianto di ioni. È un materiale di tungsteno fatto di polvere di metallo di tungsteno ad alta purezza come materia prima, che viene realizzata tramite metallurgia delle polveri e poi laminata o forgiata. Ha i vantaggi di alta densità, alta durezza, pressione di vapore estremamente bassa ed eccellente resistenza alle alte temperature.

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