Parti di ricambio per impianto ionico Mo

L'impianto ionico è una tecnologia molto importante nella moderna produzione di circuiti integrati, che utilizza una macchina per l'impianto ionico per ottenere il drogaggio dei semiconduttori. Utilizza un filo di tungsteno come catodo per emettere elettroni per bombardare molecole di gas contenenti elementi di impurità specifici, producendo atomi di impurità specifici ionizzati che vengono accelerati da un campo elettrostatico e colpiscono la superficie di un wafer di silicio monocristallino, quindi impiantati nel semiconduttore per modificare le caratteristiche di conduttività e infine formare una struttura di transistor.

Grazie alle proprietà chimiche stabili ad alta temperatura, alla piccola deformazione termica e alla lunga durata dei materiali in tungsteno e molibdeno, i componenti della sorgente ionica e i materiali di consumo delle macchine per l'impianto ionico nell'industria dei semiconduttori sono per lo più realizzati in materiali in tungsteno e molibdeno. Questi dispositivi includono tubi di schermatura per l'emissione di catodi elettronici, pannelli di emissione, aste di fissaggio centrali e piastre metalliche nella camera ad arco. Ci riferiamo collettivamente a loro come parti in tungsteno per l'impianto ionico e parti in molibdeno per l'impianto ionico.

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